Weißlichtinterferometer
Das Weißlichtinterferometer ist ein hochauflösendes Texturmessgerät. Die Messungen basieren auf dem Prinzip der Interferenz des breitbandigen Weißlichts. Dies ermöglich hochauflösende berührungslose Texturmessungen.
Einsatzgebiete
- Oberflächenanalyse
- Ermittlung von Rauheitskenngrößen
- Einflusses von Rauheitsmerkmalen auf die Griffigkeit
Kenndaten
- Auflösung in z-Richtung: 20 nm
- Auflösung in x,y-Richtung: 2 µm